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石墨热场


石墨热场

石墨热场简单的说就是用来拉单晶硅的整套石墨加热系统。最常见的是18寸的石墨热场。热场是真空电阻炉的核心部分,它的好坏直接影响到炉子的性能及其运营成本。热场的设计是多种多样的,具体选择哪一种设计方案,主要基于对工艺流程的具体分析。大多数真空电阻炉的热场包括四个主要组成部分:加热器及其连接部件,隔热部件(或者反射屏),热场支撑部件,工件承载炉床。

从形状上来划分,热场可以有方形和圆形之 分,圆形热场在真空炉领域中占有较高的比例。为了能够从炉膛中方便地安装和移除,所有的热场都被建造成为模块的形式。


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